Hovedklassifiseringen av sensorer:
Etter formål
Trykkfølsomme og kraftfølsomme sensorer, posisjonssensorer, nivåsensorer, energisensorer, hastighetssensorer, akselerometre, strålingssensorer, termiske sensorer.
Av prinsipp
Vibrasjonssensor, fuktighetssensor, magnetisk sensor, gasssensor, vakuumsensor, biosensor, etc.
Trykk på utgangssignal
Analog sensor: konverterer den målte ikke-elektriske mengden til et analogt elektrisk signal.
Digital sensor: Konverterer de målte ikke-elektriske størrelsene til digitale utgangssignaler (både direkte og indirekte).
Digital sensor: Konverterer den målte semaforen til utgangen av et frekvenssignal eller kortsyklussignal (inkludert direkte eller indirekte konvertering).
Switch Sensor: Når et målt signal når en viss terskel, sender sensoren ut et angitt lavt eller høyt signal tilsvarende.
Ved produksjonsprosess
Integrerte sensorer er produsert ved bruk av standard prosessteknologi for produksjon av silisiumbaserte integrerte halvlederkretser.
En del av kretsene som brukes til å behandle signalet som testes, er også vanligvis integrert på samme brikke.
Tynnfilmsensoren er dannet av en film av et tilsvarende følsomt materiale avsatt på et dielektrisk substrat (substrat). Når en blandeprosess brukes, kan en del av kretsen også fremstilles på dette substratet.
Tykkfilmsensoren er laget ved å belegge en slurry av et tilsvarende materiale på et keramisk substrat, som vanligvis er laget av Al2O3, og deretter varmebehandlet for å danne en tykk film.
Keramiske sensorer produseres ved bruk av standard keramiske prosesser eller noen varianter av disse (sol, gel, etc.).
Etter at den passende forberedende operasjonen er fullført, sintres den dannede komponenten ved høy temperatur. Det er mange fellestrekk mellom de to prosessene med tykk film og keramiske sensorer. I noen henseender kan tykkfilmprosessen betraktes som en variant av den keramiske prosessen.
Hver prosessteknologi har sine egne fordeler og ulemper. Keramiske og tykkfilmsensorer er rimeligere pga
